yobo体育网页版

以后地位:主页 > 资讯中间 > 半导体废气处置方式_电子半导体厂废气处置方式有哪些?

半导体废气处置方式_电子半导体厂废气处置方式有哪些?

环保范畴专家
  • 格林斯达环保
  • 善于:半导体废气处置工艺手艺,专一环保范畴19年

半导体行业中操纵的洗濯剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大批无机物成份,在工艺进程中,这些无机溶剂大局部经由进程挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还夹杂了HCl、氨、HF等风险净化物,分手和处置难度比拟大。上面格林斯达环保公司为您先容半导体废气处置方式:

半导体酸废气处置方式

半导体酸废气处置凡是接纳碱液体喷淋法,又称化学洗濯法。因液体本身具备的消融特征,能够或许更好地捉拿沉降,消融去除净化物,而到达大气排放规范,故喷淋法是半导体行业酸碱废气办理遍及接纳的首要处置方式。

新资料行业半导体废气处置的方式

新资料行业与传统资料比拟,新资料财产具备手艺高度麋集,研讨与开辟投入高,产物的附加值高,出产与市场的国际性强,和操纵范围广,成长远景好等特色,其研发程度及财产化范围已成为权衡一个国度经济,社会成长,科技前进和国防气力的首要标记,天下列国出格是发财国度都非常正视新资料财产的成长。

作为新资料财产的代表之一,半导体工艺对操纵室洁净度请求极高,凡是操纵风机抽取工艺进程中挥发的各种废气,因此半导体行业废气排放具备排宇量大、排放浓度小的特色。这些废气排放首要能够或许分为四类:酸性气体、碱性气体、无机废气和有毒气体。

RTO蓄热式熄灭炉装备,简称“RTO装备”,是接纳低温粉碎熄灭的废气办理手艺。接纳的升温动力普通是电和自然气,固然接纳低温700℃的温度停止废气处置,但实在耗损的动力并未几,这是由于装备能够或许将热能收受接管操纵,大大下降能量耗损的同时进步了废气份子的熄灭反映速度。装备的主体由熄灭室、陶瓷填料床和转换阀等构成。装备的净化效力也保持不变在99%以上。

RTO装备

半导体行业废气处置方式和对照

半导体行业yobo体育网页版:无机废气处置方式,凡是先用沸石转轮对VOCs停止吸附稀释以后,再用间接熄灭法停止烧毁,废气净化率到达97%以上。

间接熄灭又称为间接火焰熄灭,它是把VOCs可燃组分间接烧掉,因此该方式合用于净化可燃无害组分浓度较高的废气,或净化无害组分熄灭时热值较高的废气;多种可燃气体或多种溶剂蒸气夹杂在废气中,只需浓度值适合,也能够或许间接熄灭。若是可燃组分的浓度高于熄灭上限,能够或许混入氛围后熄灭;若是可燃组分的浓度低于熄灭上限,则能够或许插手必然数目的帮助燃料如自然气等,保持熄灭。


接洽咱们:收费征询热线 400-9655-098(法定任务日8:30~18:00),非任务日时候请您拨打138-1114-8535(同微信)停止征询。

yobo体育网页版:半导体废气处置方式之喷淋法先容

半导体酸碱废气处置凡是接纳喷淋法,又称为湿法。 因液体本身的特征能更好的将废气中的净化物捉拿沉降、消融去除、达标排放,因此喷淋法是半导体酸碱废气办理的首要方式。...

yobo体育网页版:半导体废气处置装备有哪些?

一、半导体酸碱废气处置经常使用装备 喷淋塔,又称为洗濯塔、净化塔;按外形分为立式洗濯塔、卧式洗濯塔;按材质又为分PP洗濯塔、玻璃钢洗濯塔等。 二、半导体无机废气处置装备 1、沸石转轮...

yobo体育网页版:新资料行业半导体废气处置方式及工艺

跟着新资料行业的成长,天下各地新资料行业的范围也日趋扩展,新资料的成长对社会起了主动的感化,但是其对生态情况的粉碎也是存在的,影响z大的是无机化合物或毒性物资。...

yobo体育网页版:甚么是半导体资料?半导体是甚么资料做的制成加工的?

​芯片是信息社会的根本,而指甲盖巨细的芯片里都能够稀有亿个晶体管,停止大批信息的存储和计较,而硅片是这些晶体管所构成的电路的基板。...

yobo体育网页版:半导体废气处置方式间接熄灭法先容

半导体行业无机废气处置方式,凡是先用沸石转轮对VOCs停止吸附稀释以后,再用间接熄灭法烧毁,废气净化率到达96%以上。 间接熄灭也称为间接火焰熄灭,它是把废气中可燃的无害组分当作燃料...

yobo体育网页版:电子半导体行业废气成份及品种先容

半导体行业附属电子信息财产,属于硬件财产,因此半导体为根本而成长起来的一个财产。下游为半导体支持业,包含半导体资料和半导体装备。中游根据制作手艺分为分立器件和集成电路。在...

yobo体育网页版:半导体废气处置哪家好?半导体废气处置哪家公司办事好?

随"芯"而生,同"芯"成长。格林斯达环保,半导体行业废气办理环保达标和出产不变运转保护者!格林斯达环保团体是一家集环保征询、研发设想、加工制作、装备发卖、系统集成、聪明运维于...

yobo体育网页版:甚么是半导体?半导体是甚么意义甚么工具甚么元素?

跟着中国半导体财产的成长,中国的半导体资料也在逐步产生变更,已从第yi代半导体资料过渡到第三代半导体资料。那末,甚么是半导体?半导体是甚么意义,甚么工具,又是甚么元素?...

yobo体育网页版:半导体企业废气怎样办理?

一、半导体企业废气成份 半导体企业废气普通分为酸性排气、碱性排气、无机废气、砷排和普通排气等。 二、半导体企业废气办理工艺及流程 1、半导体企业酸性或碱性废气,格林斯达废气处...

yobo体育网页版:芯片半导体是甚么行业?半导体行业是做甚么的?

半导体,望文生义便是导电性介于导体和绝缘体之间的一类物体。经由进程杂质的掺入而转变资料的导电机能,这便是半导体手艺的底层根本。 ...