yobo体育网页版

把细节做到极致

半导体厂废气处置处置计划

半导体行业废气处置,根据其废气处置工艺分为:酸性废气处置(SEX)、碱性废气处置(AEX)、无机废气处置(VEX)和普通排气(GEX)等;其废气处置系统包罗:酸性废气处置装备、碱性废气处置装备、无机废气处置装备等;酸、碱废气处置装备有:洗濯塔,别名喷淋塔、接收塔;无机废气处置装备有:活性炭吸附拆卸、直燃式热氧化废气熄灭炉(TO)等。

格林斯达yobo体育网页版:废气处置公司,对半导体行业废气处置系统的设想选型,严酷根据国j或处所的大气净化物办理达标排放规范,和企业废气。

 

各半导体厂废气情况概述

跟着信息化时期的到来,半导体行业也在敏捷成长,半导体厂给社会带来的经济效益及失业率众目睽睽的,但随之而来的另有对大气的净化。因为半导体行业对操纵室干净度请求极高,凡是操纵风机抽取工艺进程中挥发的各种废气,是以半导体行业废气排放具备排宇量大、排放浓度小的特色。

首要成份:半导体行业废气首要为无机废气和酸碱废气两类。无机类有:非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等;酸碱类有:氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。

首要来历:在半导体行业中形成情况净化的无害气体,首要来历于芯片或是线路板出产的洗濯、均胶、去胶、刻蚀、显影进程中。

首要风险:半导体行业首要是元器件组装焊接进程中对大气的净化和电路板等器件洗濯等外表处置进程中因操纵一些化学药剂(如硫酸、盐酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其余无机卤化物)挥发形成对大气情况的净化,和零件拆卸进程中发生的机器噪声和少许粉尘也会形成情况净化,这些净化气体味形成人群慢性或急性中毒。

 

半导体厂废气处置工艺

(一)酸碱性废气

工艺流程: 酸/碱性废气→酸/碱式洗濯塔→离心风机→烟囱(达标排放)

酸碱废气颠末搜集管道集合搜集后根据各自的系统进入响应的化学洗濯塔停止喷淋处置,格林斯达自立研发设想的化学洗濯塔经由进程外部的喷淋系统、轮回水系统、填料过滤系统、除雾系统、主动加药系统、主动补排水等系统对进入化学洗濯塔的废气停止化学接收、除雾,保z处置后的废气达标排放。

 

装备先容

化学洗濯塔可有用去除废气中含有的酸/碱性气体,yobo体育网页版:废气处置装备以FRP为首要资料出产。填料接纳yobo体育网页版:PP材质的麦勒环。根据气体接收进程中气液两相在外表上停止传质反映和通报速率和比外表积成反比的道理,是以接纳填料来增大两相打仗的比外表积,使两相充实打仗,从而到达接收和净化废气的目标。净化后的气体水份含量较大,负气体经由进程除雾层,除雾层填料可有用吸附气体中的水份,z后净化后的气体由出气口排挤。

洗濯塔的任务道理:洗濯塔的布局型式分为立式和卧式。

立式洗濯塔的任务道理为气液两相逆流打仗;含酸碱净化物的废气由塔下部入口进入塔外向上活动,经由进程单层或多层填料,废(尾)气与液相充实打仗后接收或中和,清洁的气体颠末下层的除雾层排挤,从而到达接收和净化结果。

卧式布局的任务道理为气液两订交叉流打仗,废(尾)气经由进程填料层段时与液相充实打仗后接收或中和,从而到达接收或净化的结果。

装备自身包罗有洗濯塔本体、填料层、除雾层、轮回水管路,及轮回水箱等。

(二)无机类废气VOCs

1、工艺流程

任务道理:待处置的无机夹杂废气经引风机感化,先颠末预处置过滤拆卸去除废气中的粉尘及杂质局部,不然间接吸傅会梗塞沸石的微缩孔,从而影响吸附结果甚z生效,颠末开端过滤后“相对纯洁的无机废气”进入沸石转轮吸附拆卸停止吸附净化处置,无机物资被转轮沸石独有的感化力扣留在其外部,干净气体排挤,颠末一段时候吸附后,沸石转轮到达饱和状况,转轮根据必然的速率(每小时1-3转)主动动弹进入冷却和低温脱附地区。

沸石转轮脱附出来的高浓度废气间接进入TO直燃式yobo体育网页版:熄灭炉停止熄灭净化处置,废气熄灭后的炉膛熄灭室低温气体与外部热互换器停止热互换预热出去的脱附废气,使脱附废气换热后温度节制在300-350℃摆布进入熄灭室熄灭,熄灭后经外部换热器降温落后入尾部二级烟气余热操纵拆卸,d一级余热操纵拆卸用于脱附,升温后的干净气体进入转轮脱附区用于脱附,沸石中的无机物遭到热氛围加热后从沸石中挥收回来,此时脱附出来的废气属于浓度高、风量小、温度高的无机废气再进入二级烟气余热操纵拆卸用于将废气温度二次进步,进入TO熄灭炉熄灭处置,再次下降TO熄灭炉熄灭的运转本钱。做到真实的节能、环保。同时整套拆卸安q、靠得住、无任何二次净化。

客户供给

为了确保计划和报价的优z性,请您供给半导体厂废气数据,包罗:废气成份、废气浓度、废气风量、所需到达处置结果(如XXX国j规范)、占空中积等。

 

办事保证

格林斯达环保团体是一家集环保征询、研发设想、加工制作、装备发卖、系统集成、聪明运维于一体的废气处置处置计划供给商。专一废气处置/污水处置/污水除臭/在线监测13年,新三板上市企业,多项天资专利手艺保证,天下500强废气处置协作火伴。等候与您的协作!【天下收费征询热线:400-9655-098 / 手机:13811148535(同微信)】