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Local Scrubber尾气处置装备

  • 去除效力: CF4>90%@150slm、NF3>95%@300slm
  • 装备材质: 内腔PTEE、水箱CPVC
  • 装备尺寸: 800*800*1850
  • 装备能耗: 12kw for CF4>90%;9kw for NF3>95%
  • 装备水量: <4slm
征询热线:400-9655-098

等离子水洗Local Scrubber装备:去除半导体Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圆工艺制程中利用或发生的PFC温室气体和有毒无害气体,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。

道理

经由过程直流电源,使任务气体(氮气)进入等离子体反映器,在正负极强电流的感化下,被电离成等离子体,刹时发生庞大的火焰,发生的低温火焰将废气分化。

上风

  1. 去除效力高,不须要燃料和热源,耗能低;
  2. 处置高沸点废气,利用规模广;
  3. 低温、反映速率快,
  4. 装备占空中积小、便于装配;

本装配的直流电弧等离子体为非转移型,两电极地区不到场反映,只发生等离子体,发生的火焰温度可达3000度以上。

等离子反映器的MTBF大于1年,反映室内腔的材质耐热和耐腐,具有四个进气口,装配具有冷却区、喷淋区及两级填料除雾区,对PFC温室气体的去除效力>90%。

尾气处置装备尾气处置装备

机能参数

去除效力 CF4>90%@150slm、NF3>95%@300slm
MTBF >6months;
MTTR <1.5hr
材质 内腔PTEE、水箱CPVC
等离子弧利用寿命 >1year
尺寸(mm) 800*800*1850
进气口 NW50*4
耗能 12kw for CF4>90%;9kw for NF3>95%
水量 <4slm